Area selective chemical vapor deposition of metallic films using plasma electrons as reducing agents
- Författare
- Linköpings universitet Hama Nadhom
- (Hama Nadhom., Härtill 2 uppsatser, Diss. (sammanfattning) Linköping : Linköpings universitet, 2021)
- Genre
- Avhandlingar, theses
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Department of Physics, Chemistry and Biology, Linköping University | 2021 | Sverige, Linköping | xiii, 55 sidor illustrationer | 978-91-7929-632-2 |